Kombineret med de omfattende fordele ved traditionelle Al2O3- og BeO-substratmaterialer er aluminiumnitrid (AlN) keramik, som har høj varmeledningsevne (monokrystals teoretiske varmeledningsevne er 275 W/m▪k, polykrystallers teoretiske varmeledningsevne er 70~210 W/m▪k), lav dielektricitetskonstant, termisk udvidelseskoefficient matchet med enkeltkrystalsilicium og gode elektriske isoleringsegenskaber, et ideelt materiale til kredsløbssubstrater og emballage i mikroelektronikindustrien. Det er også et vigtigt materiale til højtemperatur strukturelle keramiske komponenter på grund af de gode højtemperatur mekaniske egenskaber, termiske egenskaber og kemiske stabilitet.
Den teoretiske densitet af AlN er 3,26 g/cm3, MOHS-hårdheden er 7-8, stuetemperaturresistiviteten er større end 1016 Ωm, og den termiske ekspansivitet er 3,5 × 10-6/℃ (stuetemperatur på 200 ℃). Ren AlN-keramik er farveløs og transparent, men den kan have forskellige farver som grå, gråhvid eller lysegul på grund af urenhederne.
Ud over høj varmeledningsevne har AlN-keramik også følgende fordele:
1. God elektrisk isolering;
2. Lignende termisk udvidelseskoefficient med siliciummonokrystal, bedre end materialer som Al2O3 og BeO;
3. Høj mekanisk styrke og lignende bøjningsstyrke med Al2O3-keramik;
4. Moderat dielektricitetskonstant og dielektrisk tab;
5. Sammenlignet med BeO påvirkes varmeledningsevnen af AlN-keramik mindre af temperatur, især over 200 ℃;
6. Høj temperaturbestandighed og korrosionsbestandighed;
7. Ikke-giftig;
8. Anvendes i halvlederindustrien, kemisk metallurgiindustri og andre industriområder.
Opslagstidspunkt: 14. juli 2023