-
Keramisk endeeffektor af høj renhedsalumina til waferhåndteringsrobotter
St.Ceras alumina keramiske endeeffektor er præcisionsbearbejdet af 99,8% højrent Al₂O₃ ved hjælp af avanceret 5-akset CNC-slibeudstyr. Vores produktionskapaciteter omfatter præcisionsslibemaskiner og CNC-bearbejdningscentre, hvilket muliggør komplekse geometrier med høj præcision. Endeeffektoren har en tynd profil (så tynd som 1,5 mm) med en konisk forkant for jævn waferindsættelse. Materialet giver høj stivhed (Young's modul 380 GPa), fremragende slidstyrke og termisk stabilitet op til 800°C. Hver enhed er præcisionsslebet for at opnå en planhed på 0,003 mm, en parallelitet på 0,002 mm og en overfladefinish på Ra0.1, hvilket sikrer ensartet waferkontakt og partikelfri drift i halvleder-FAB-miljøer. Fås i længder fra 150 mm til 450 mm, med brugerdefinerede spidsgeometrier (kantgreb, Bernoulli, flad) og monteringsflanger, der passer til OEM-robotter. Overfladefinishmulighederne omfatter slebet, poleret eller ESD-afledende belægning (10⁶–10⁹ Ω/kvadrat).
-
ST.CERA Tilpasset Alumina Keramisk Bernoulli-endeeffektor
Som en førende producent af keramiske endeeffektorer/håndteringsarme har vi udviklet en ukonventionel endeeffektor/håndteringsarm, der imødekommer markedets behov. Bernoullis principbaserede keramiske endeeffektor/håndteringsarm, som kan svæve og transportere waferen via luftstrøm med minimal perifer kontakt.
-
ST.CERA Tilpasset ESD Keramisk endeeffektor
Med egenskaber som høj temperaturbestandighed, korrosionsbestandighed, slidstyrke og isolering kan keramik fungere i mange slags halvlederproduktionsudstyr under forhold med høj temperatur, vakuum eller ætsende gas i lang tid.
-
ST.CERA Tilpasset Alumina Keramik Gribeende Effektor
Med egenskaber som høj temperaturbestandighed, korrosionsbestandighed, slidstyrke og isolering kan keramik fungere i mange slags halvlederproduktionsudstyr under forhold med høj temperatur, vakuum eller ætsende gas i lang tid.
-
ST.CERA Tilpasset Alumina Keramik bakke ende effektor
Dette er en keramisk endeeffektor/håndteringsarm af bakketypen, der anvendes under vakuum.
Den keramiske endeeffektor/håndteringsarm er "mere varmebestandig", "mindre afbøjelig" og "lettere" i vægt sammenlignet med metalarmene.
-
ST.CERA Tilpasset Alumina Keramisk Vakuum-Endeffektor
Med egenskaber som høj temperaturbestandighed, korrosionsbestandighed, slidstyrke og isolering kan keramik fungere i mange slags halvlederproduktionsudstyr under forhold med høj temperatur, vakuum eller ætsende gas i lang tid.
-
ST.CERA Tilpasset Alumina Keramisk End Effektor
ST.CERA tilbyder ESD-belægning og ESD-keramisk materiale. End Effector er fremstillet af aluminiumoxidpulver med høj renhed, forarbejdet ved koldisostatisk presning, højtemperatursintring og præcisionsfinish. Den kan nå en dimensionstolerance på ±0,001 mm, overfladefinish Ra 0,1 og temperaturbestandighed på 1600 ℃.
-
ST.CERA Tilpasset Alumina Keramisk Vakuum End Effektor
Dette er en keramisk endeeffektor/håndteringsarm af bakketypen, der anvendes under vakuum.
Den keramiske endeeffektor/håndteringsarm er "mere varmebestandig", "mindre afbøjelig" og "lettere" i vægt sammenlignet med metalarmene.
Med egenskaber som høj temperaturbestandighed, korrosionsbestandighed, slidstyrke og isolering kan keramik fungere i mange slags halvlederproduktionsudstyr under forhold med høj temperatur, vakuum eller ætsende gas i lang tid.
Fremstillet af aluminiumoxidpulver med høj renhed, forarbejdet ved koldisostatisk presning, højtemperatursintring og præcisionsfinish, kan den nå en dimensionstolerance på ±0,001 mm, overfladefinish Ra 0,1, temperaturbestandighed 1600 ℃.
-
ST.CERA tilpasset håndtering af aluminiumoxidkeramiske endeeffektorwafere
ST.CERA tilbyder ESD-belægning og ESD-keramisk materiale, endeeffektor/håndteringsarm med en indbygget hul kanal. Vi specialiserer os i en teknik, der danner en vakuumluftkanal inde i et enkelt stykke materiale uden brug af klæbemiddel.
Der er ingen risiko for forurenende stoffer, udgasning eller partikler. ST.CERAs vakuum-endeeffektor/håndteringsarm med speciel belægningsteknologi er elektrisk isoleret. Vi kan også tilbyde ESD-keramisk materiale, der er elektrisk isoleret uden belægning.
Fremstillet af aluminiumoxidpulver med høj renhed, forarbejdet ved koldisostatisk presning, højtemperatursintring og præcisionsfinish, kan den nå en dimensionstolerance på ±0,001 mm, overfladefinish Ra 0,1, temperaturbestandighed 1600 ℃. -
Komponenter til halvlederudstyr til keramiske endeeffektorer i aluminiumoxid
Undgå partikler, der kan dannes fra de skrå kanter eller de vinklede kanter og bagsiden, mens wafere transporteres eller er i kontakt med endeeffektoren/håndteringsarmen.
Til styrene er der anvendt et blødt materiale, der ikke beskadiger waferen.
Fortynding er mulig med ST.CERAs indbyggede vakuumkanalteknologi, der ikke bruger klæbemidler.
Muligt at lave monteringshuller og ændre længden og bredden af basen, hvor endeeffektoren/håndteringsarmen er monteret på robotten.
Montering af sensorer, skruer og beslag er tilgængelig som ekstraudstyr.
Beregnet til brug i atmosfæren.
-
Tilpasset CNC-bearbejdning af St.Cera keramisk endeeffektor
ST.CERA tilbyder en vakuumkeramisk endeeffektor/håndteringsarm med en indbygget hul kanal. Vi specialiserer os i en teknik, der danner en vakuumluftkanal inde i et enkelt stykke materiale uden brug af klæbemiddel.
Der er ingen risiko for forurenende stoffer, udgasning eller partikler. ST.CERAs vakuum-endeeffektorer/håndteringsarm med indbygget kanal er holdbare og kan bruges ved høje temperaturer. Desuden kan vores produktionsomkostninger reduceres ved at eliminere unødvendig montering.
Fremstillet af aluminiumoxidpulver med høj renhed, forarbejdet ved koldisostatisk presning, højtemperatursintring og præcisionsfinish, kan den nå en dimensionstolerance på ±0,001 mm, overfladefinish Ra 0,1, temperaturbestandighed 1600 ℃.
-
Alumina antistatisk keramisk endeeffektor
Med egenskaber som høj temperaturbestandighed, korrosionsbestandighed, slidstyrke og isolering kan keramik fungere i mange slags halvlederproduktionsudstyr under forhold med høj temperatur, vakuum eller ætsende gas i lang tid.
Fremstillet af aluminiumoxidpulver med høj renhed, forarbejdet ved koldisostatisk presning, højtemperatursintring og præcisionsfinish, kan den nå en dimensionstolerance på ±0,001 mm, overfladefinish Ra 0,1, temperaturbestandighed 1600 ℃.
