Keramisk endeeffektor af høj renhedsalumina til waferhåndteringsrobotter

St.Ceras alumina keramiske endeeffektor er præcisionsbearbejdet af 99,8% højrent Al₂O₃ ved hjælp af avanceret 5-akset CNC-slibeudstyr. Vores produktionskapaciteter omfatter præcisionsslibemaskiner og CNC-bearbejdningscentre, hvilket muliggør komplekse geometrier med høj præcision. Endeeffektoren har en tynd profil (så tynd som 1,5 mm) med en konisk forkant for jævn waferindsættelse. Materialet giver høj stivhed (Young's modul 380 GPa), fremragende slidstyrke og termisk stabilitet op til 800°C. Hver enhed er præcisionsslebet for at opnå en planhed på 0,003 mm, en parallelitet på 0,002 mm og en overfladefinish på Ra0.1, hvilket sikrer ensartet waferkontakt og partikelfri drift i halvleder-FAB-miljøer. Fås i længder fra 150 mm til 450 mm, med brugerdefinerede spidsgeometrier (kantgreb, Bernoulli, flad) og monteringsflanger, der passer til OEM-robotter. Overfladefinishmulighederne omfatter slebet, poleret eller ESD-afledende belægning (10⁶–10⁹ Ω/kvadrat).

Specifikationer (baseret på 99,8% Al₂O₃& St.Ceras produktionskapaciteter):

Anvendelser:

• · Waferoverførsel i vakuum- og atmosfæriske robotter
• · FAB automatiseringsendeeffektorer til 200 mm/300 mm wafere
• · Håndtering af tynde wafere (med ESD-mulighed)

Produktionskapaciteter:
Vores præcisionsslibemaskiner og CNC-bearbejdningscentre muliggør produktion af komplekse keramiske komponenter med:

• · Maksimal bearbejdningslængde: 1500 mm
• · Maksimal ydre diameter: 600 mm
• · Mindste indre diameter: 0,2 mm
• · Maksimal tykkelse: 100 mm

Kvalitetskontrol:
Rethed 0,005 mm, vinkelrethed 0,005 mm, rundhed 0,002 mm, parallelitet 0,002 mm, koncentricitet 0,01 mm verificeret af CMM. Hver enhed er ultralydsrenset og klasse 100 renrumsemballeret.