ST.CERA tilpasset håndtering af aluminiumoxidkeramiske endeeffektorwafere
Kort beskrivelse:
ST.CERA tilbyder ESD-belægning og ESD-keramisk materiale, endeeffektor/håndteringsarm med en indbygget hul kanal. Vi specialiserer os i en teknik, der danner en vakuumluftkanal inde i et enkelt stykke materiale uden brug af klæbemiddel. Der er ingen risiko for forurenende stoffer, udgasning eller partikler. ST.CERAs vakuum-endeeffektor/håndteringsarm med speciel belægningsteknologi er elektrisk isoleret. Vi kan også tilbyde ESD-keramisk materiale, der er elektrisk isoleret uden belægning. Fremstillet af aluminiumoxidpulver med høj renhed, forarbejdet ved koldisostatisk presning, højtemperatursintring og præcisionsfinish, kan den nå en dimensionstolerance på ±0,001 mm, overfladefinish Ra 0,1, temperaturbestandighed 1600 ℃.