-
Aluminium PVD-isoleringsring til fysiske dampaflejringssystemer
St.Ceras PVD-isoleringsring er fremstillet af 99,8% aluminiumoxid med høj renhed (Al₂O₃) til brug i fysiske dampaflejringssystemer (PVD). Ringen giver elektrisk isolering mellem kammerkomponenter, forhindrer lysbuedannelse og sikrer stabil plasmadrift. Nøgleegenskaber inkluderer høj dielektrisk styrke (15×10⁶ V/m), specifik modstand >10¹⁴ Ω·mm²/m og termisk stabilitet op til 1600°C. Vores præcisionsbearbejdningskapaciteter opnår ydre diametre på op til 600 mm, indre diametre ned til 0,2 mm, en planhed på 0,003 mm og en overfladefinish Ra0,1. Ringens nul porøsitet og kemiske inertitet sikrer langvarig pålidelighed i aggressive sputtermiljøer.
-
Alumina keramiske dele til E-Gun fordampningssystemer
St.Cera fremstiller keramiske komponenter med høj renhed af 99,8% aluminiumoxid, der er specielt designet til elektronstrålefordampningssystemer (E-gun). Disse dele omfatter digelforinger, stråleafbøjningsskærme, isolatorer og monteringsbeslag. Materialet tilbyder høj dielektrisk styrke (15×10⁶ V/m), termisk stabilitet op til 1600°C og fremragende modstandsdygtighed over for termisk chok og kemiske angreb fra fordampede materialer. Vores præcisionsbearbejdningskapaciteter opnår komplekse geometrier med en minimumsstørrelse på 0,2 mm, en planhed på 0,003 mm og en overfladefinish på Ra0,1. Hver del er 100% CMM-inspiceret for dimensionsnøjagtighed.
-
ST.CERA Tilpassede 99,5% Alumina Keramikdele
Keramiske strukturdele er en generel betegnelse for forskellige komplicerede former for keramiske dele. De keramiske dele er fremstillet af keramisk pulver med høj renhed, formes ved tørpresning eller koldisostatisk presning, sintres under høj temperatur og derefter præcisionsbearbejdes. De anvendes i vid udstrækning i halvlederudstyr, optisk kommunikation, laser, medicinsk udstyr, petroleum, metallurgi og elektronikindustrien med deres egenskaber som høj temperaturbestandighed, korrosionsbestandighed, slidstyrke og isolering.
-
ST.CERA tilpasset 99,5% aluminiumoxid keramisk læsserarm
En keramisk endeeffektor/håndteringsarm er installeret på en waferhåndteringsrobot eller "endeeffektorer" og bruges til at føre siliciumwafers ind i eller ud af kassetter eller proceskamre.
Fordelene ved at bruge keramik er reduktion af nedbøjning på grund af høj bøjningsstyrke, modstandsdygtighed over for høje temperaturer og eliminering af metalforurening og partikler. -
ST.CERA Tilpassede 99,5% Alumina Keramiske Komponenter
De keramiske komponenter er fremstillet af keramisk pulver med høj renhed, og de er dannet ved tørpresning eller koldisostatisk presning, sintret under høj temperatur og derefter præcisionsbearbejdet. Det er meget anvendt i halvlederudstyr, optisk kommunikation, laser, medicinsk udstyr, petroleum, metallurgi og elektronikindustrien med sine egenskaber som høj temperaturbestandighed, korrosionsbestandighed, slidstyrke og isolering.
-
Præcisionskeramisk aluminiumoxidkeramisk waferhåndteringsarm Halvlederkeramik
Med egenskaber som høj temperaturbestandighed, korrosionsbestandighed, slidstyrke og isolering kan keramik fungere i mange slags halvlederproduktionsudstyr under forhold med høj temperatur, vakuum eller ætsende gas i lang tid.
Fremstillet af aluminiumoxidpulver med høj renhed, forarbejdet ved koldisostatisk presning, højtemperatursintring og præcisionsfinish, kan den nå en dimensionstolerance på ±0,001 mm, overfladefinish Ra 0,1, temperaturbestandighed 1600 ℃.
-
Isolerede aluminiumoxid keramiske arm halvlederudstyrskomponenter
Undgå partikler, der kan dannes fra de skrå kanter eller de vinklede kanter og bagsiden, mens wafere transporteres eller er i kontakt med endeeffektoren/håndteringsarmen.
Til styrene er der anvendt et blødt materiale, der ikke beskadiger waferen.
Fortynding er mulig med ST.CERAs indbyggede vakuumkanalteknologi, der ikke bruger klæbemidler.
Muligt at lave monteringshuller og ændre længden og bredden af basen, hvor endeeffektoren/håndteringsarmen er monteret på robotten.
Montering af sensorer, skruer og beslag er tilgængelig som ekstraudstyr.
Designet til brug i atmosfæren
-
Høj temperaturbestandighed af præcisionskeramisk aluminiumoxidkeramik
Keramikrøret er fremstillet af keramisk pulver med høj renhed, formes ved tørpresning eller koldisostatisk presning, sintres under høj temperatur og præcisionsbearbejdes derefter. Med mange fordele som slidstyrke, korrosionsbestandighed, høj hårdhed, høj sejhed og lav friktionskoefficient anvendes det i vid udstrækning i medicinsk udstyr, præcisionsmaskiner, laser-, metrologi- og inspektionsudstyr. Det kan fungere i lang tid under syre- og alkaliforhold, og den maksimale temperatur kan nå op til 1600 ℃.
-
Højtryks- og slidstærk aluminiumoxid keramisk stang keramisk stempel
Den keramiske stang er lavet af keramisk pulver med høj renhed, formes ved tørpresning eller koldisostatisk presning, sintres under høj temperatur og præcisionsbearbejdes derefter. Med mange fordele som slidstyrke, korrosionsbestandighed, høj hårdhed, høj sejhed og lav friktionskoefficient, anvendes den i vid udstrækning i medicinsk udstyr, præcisionsmaskiner, laser, metrologi og inspektionsudstyr. Den kan fungere i lang tid under syre- og alkaliforhold, og den maksimale temperatur kan nå op til 1600 ℃.
-
Keramisk akselhylster af aluminiumoxid
Den keramiske stang er lavet af keramisk pulver med høj renhed, formes ved tørpresning eller koldisostatisk presning, sintres under høj temperatur og derefter præcisionsbearbejdes. Med mange fordele som slidstyrke, korrosionsbestandighed, høj hårdhed, høj sejhed og lav friktionskoefficient, anvendes den i vid udstrækning i medicinsk udstyr, præcisionsmaskiner, laser, metrologi og inspektionsudstyr. Den kan fungere under syre- og alkaliforhold i lang tid, og den maksimale temperatur kan nå op til 1600 ℃. De keramiske materialer, vi normalt bruger, er zirkoniumoxid, 95% ~ 99,9% aluminiumoxid (Al2O3), siliciumnitrid (Si3N4), aluminiumnitrid (AlN) og så videre.
-
Fremragende ydeevne af mekaniske strukturelle dele af aluminiumoxidkeramik
Keramiske strukturdele er en generel betegnelse for forskellige komplicerede former af keramiske dele. De keramiske dele er fremstillet af keramisk pulver med høj renhed, formes ved tørpresning eller kold isostatisk presning, sintres under høj temperatur og præcisionsbearbejdes derefter. De anvendes i vid udstrækning i halvlederudstyr, optisk kommunikation, laser, medicinsk udstyr, petroleum, metallurgi og elektronikindustrien.
-
Strukturelle komponenter af aluminiumoxidkeramik
Keramiske strukturdele er en generel betegnelse for forskellige komplicerede former af keramiske dele. De dannes ved tørpresning eller kold isostatisk presning, sintres under høj temperatur og bearbejdes derefter præcist.
Fremstillet af aluminiumoxidpulver med høj renhed, forarbejdet ved koldisostatisk presning, højtemperatursintring og præcisionsfinish, kan den nå en dimensionstolerance på ±0,001 mm, overfladefinish Ra 0,1, temperaturbestandighed 400 ℃~800 ℃.
