Aluminium PVD-isoleringsring til fysiske dampaflejringssystemer
St.Ceras PVD-isoleringsring er fremstillet af 99,8% aluminiumoxid med høj renhed (Al₂O₃) til brug i fysiske dampaflejringssystemer (PVD). Ringen giver elektrisk isolering mellem kammerkomponenter, forhindrer lysbuedannelse og sikrer stabil plasmadrift. Nøgleegenskaber inkluderer høj dielektrisk styrke (15×10⁶ V/m), specifik modstand >10¹⁴ Ω·mm²/m og termisk stabilitet op til 1600°C. Vores præcisionsbearbejdningskapaciteter opnår ydre diametre på op til 600 mm, indre diametre ned til 0,2 mm, en planhed på 0,003 mm og en overfladefinish Ra0,1. Ringens nul porøsitet og kemiske inertitet sikrer langvarig pålidelighed i aggressive sputtermiljøer.
Specifikationer (baseret på 99,8% Al₂O₃& St.Ceras produktionskapaciteter):
| Ejendom | Værdi |
| Materiale | 99,8% aluminiumoxid (elfenben) |
| Tæthed | 3,93 g/cm³ |
| Bøjningsstyrke | 361 MPa |
| Vickers hårdhed | 16 GPa |
| Dielektrisk styrke | 15×10⁶ V/m |
| Specifik modstand | >10¹⁴ Ω·mm²/m |
| Maks. ydre diameter | 600 mm |
| Min. indvendig diameter | 0,2 mm |
| Maksimal tykkelse | 100 mm |
| Fladhed | 0,003 mm |
| Parallelisme | 0,002 mm |
| Overfladefinish | Ra0,1 |
| Maks. driftstemperatur | 1600°C |
Anvendelser:
- · Målret bagpladeisolatorer i PVD-systemer
- · Kammergennemføringsisolatorer
- · Skærmringsisolatorer i sputteringssystemer
- · Højspændingsisolering i plasmakamre
Produktionspræcision:
Koncentricitet: 0,01 mm, rundhed: 0,002 mm, retlinjethed: 0,005 mm, vinkelrethed: 0,005 mm, verificeret af CMM.
AFordele i forhold til polymerisolatorer:
- · Modstår 1600°C i forhold til polymerens grænse på <300°C
- · Ingen udgasning – opretholder vakuumintegriteten
- · Modstår plasmaerosion og kemiske angreb
Tilpasning:
Brugerdefinerede tværsnit, monteringsfunktioner, trinprofiler og flere koncentriske ringdesigns er tilgængelige.
