sidebanner

ST.CERA tilpasset 99,5% aluminiumoxid keramisk læsserarm

ST.CERA tilpasset 99,5% aluminiumoxid keramisk læsserarm

Kort beskrivelse:

En keramisk endeeffektor/håndteringsarm er installeret på en waferhåndteringsrobot eller "endeeffektorer" og bruges til at føre siliciumwafers ind i eller ud af kassetter eller proceskamre.
Fordelene ved at bruge keramik er reduktion af nedbøjning på grund af høj bøjningsstyrke, modstandsdygtighed over for høje temperaturer og eliminering af metalforurening og partikler.


Produktdetaljer

Produktmærker

Produktdetaljer

Med egenskaber som høj temperaturbestandighed, korrosionsbestandighed, slidstyrke og isolering kan keramik fungere i mange slags halvlederproduktionsudstyr under forhold med høj temperatur, vakuum eller ætsende gas i lang tid.

Den keramiske endeeffektor er fremstillet af aluminiumoxidpulver med høj renhed, forarbejdet ved koldisostatisk presning, højtemperatursintring og præcisionsfinish, og kan nå en dimensionstolerance på ±0,001 mm, en overfladefinish på Ra 0,1 og en temperaturbestandighed på 1600 ℃.

Den keramiske endeeffektor med hulrum kan arbejde ved en høj temperatur på 800 ℃ takket være unik keramisk bindingsteknologi.

Her er karakteristikaene for aluminiumoxidkeramik med forskellig renhed.

produktparametre

logo

ST.CERA CO., LTD.

Materialedatablad

Ejendomme Enhed Aluminiumoxid (Al2O3)
99% Al2O3 99,5% Al2O3 99,8% Al2O3 99,9% Al2O3
Farve Hvid Elfenben Elfenben Elfenben
Tæthed g/cm3 3,88 3,90 3,93 3,95
Vandabsorption % 0 0 0 0
Kornstørrelse μm 2~5 2~5 2~5 2~4
Bøjningsstyrke MPa 350 360 361 350
Brudstyrke MPa·m³ 3~4 3~4 3~4 3~4
Vickers hårdhed GPa 14 15,5 16 16
Youngs elasticitetsmodul GPa 370 370 380 390
Termisk ledningsevne Uge/m·k 28 32 32 34
Termisk ekspansionskoefficient 10-6/℃ 7.2 7.2 7.2 7.2
Dielektrisk konstant 9,5 9.6 9.6 9,9
Dielektrisk tabsvinkel 0,0001 0,0001 0,0001 0,0001
Dielektrisk styrke V/m 15×106 15×106 15×106 15×106
Specifik modstand Ω ·mm²/m ﹥ 1014 ﹥ 1014 ﹥ 1014 ﹥ 1014

Produktionsproces

Sprøjtegranulering → keramisk pulver → Formning → Blanksintring → Grovslibning → CNC-bearbejdning → Finslibning → Dimensionsinspektion → Rengøring af pakning

Vigtige detaljer

Oprindelsessted: Hunan, Kina
Materiale: Alumina Keramik
HS-kode: 85471000
Leveringsevne: 100 stk. pr. måned
Leveringstid: 3-4 uger
Pakke: Bølgepapkasse, skum, karton
Andre: Tilpasningsservice tilgængelig


  • Tidligere:
  • Næste: