Teflonbelagt keramisk endeeffektor – non-stick overflade til håndtering af følsomme vafler
St.Ceras Teflon (PTFE)-belagte keramiske endeeffektor kombinerer et højstyrke aluminiumoxidsubstrat med en ensartet PTFE-belægning med lav friktion (tykkelse 15-30 μm). Belægningen giver en ekstremt lav friktionskoefficient (≤0,1), fremragende kemisk resistens og non-stick egenskaber, hvilket forhindrer wafervedhæftning og eliminerer kontaminering på bagsiden. Det underliggende keramiske substrat (99,8% Al₂O₃) tilbyder høj bøjningsstyrke (361-1000 MPa), slidstyrke og termisk stabilitet op til 260°C (belægningsgrænse). Denne endeeffektor er ideel til håndtering af sarte, tynde eller klæbrige wafere (f.eks. efter fotoresistbelægning eller kemiske processer).
Specifikationer (baseret på 99,8% Al₂O₃-substrat med PTFE-belægning):
| Ejendom | Værdi |
| Underlagsmateriale | 99,8% aluminiumoxid (elfenben) |
| Belægningsmateriale | PTFE (Teflon) |
| Belægningstykkelse | 15–30 μm |
| Friktionskoefficient (belagt) | ≤0,1 |
| Underlagets bøjningsstyrke (Al₂O₃) | 361 MPa |
| Underlagshårdhed (Al₂O₃) | 16 GPa |
| Substratdensitet | 3,93 g/cm³ |
| Maks. driftstemperatur (belægningsgrænse) | 260°C |
| Overfladeruhed (før belægning) | Ra ≤0,4 μm |
| Dielektrisk styrke (substrat) | 15×10⁶ V/m |
Bemærk: PTFE-belægning begrænser den maksimale temperatur til 260 °C; til anvendelser ved højere temperaturer bør ubelagt keramik eller andre belægninger overvejes.
Anvendelser:
- · Håndtering af wafere efter fotoresistbelægning (klæbrige overflader)
- · Overførsel af tynde eller skrøbelige vafler (forhindrer fastklæbning)
- · Værktøjer til inspektion og metrologi af halvledere
- · Renrumsautomatisering, hvor partikelforurening skal minimeres
Fremstillingsproces:
Sintret og præcisionsslebet keramisk substrat → overfladeruhed (plasmaætsning eller sandblæsning) → PTFE-sprøjtebelægning → varmehærdning ved 380°C → slutinspektion. Hver endeeffektor kontrolleres for belægningstykkelse (hvirvelstrøm), vedhæftning (tværsnitstest ASTM D3359) og friktionskoefficient.
Kvalitetskontrol:
100 % visuel inspektion for små huller eller bobler; ensartethed i belægningstykkelsen inden for ±5 μm; ingen delaminering efter 90° bøjningstest på folie. Dimensionskontrol i henhold til OEM-tolerance (længde ±0,05 mm, planhed ≤0,1 mm).
Fordele i forhold til ubelagte eller andre belægninger:
- · Non-stick overflade forhindrer wafer vedhæftning og brud
- · Laveste friktionskoefficient blandt keramiske belægninger
- · Fremragende kemisk resistens (syrer, baser, opløsningsmidler)
- · Reducerer partikeldannelse ved at forhindre materialeoverførsel
Begrænsninger (bemærkninger om materialeafvigelse):
PTFE-belægningen er ikke afledt af de angivne materialeegenskabstabeller (Al₂O₃, ZrO₂, Si₃N₄, BeO). Substrategenskaberne følger nøje det medfølgende datablad (99,8% Al₂O₃). Belægningsegenskaberne er baseret på PTFE-specifikationer i industristandard, da der ikke er angivet belægningsdata. Til applikationer over 260°C anbefales en ubelagt keramisk endeeffektor.*
Tilpasning:
Fås i længder 150-1500 mm, spidsformer (kantgreb, Bernoulli, flad), monteringsflangemønstre i henhold til OEM-tegning. Delvis belægning (kun kontaktområder) eller fuld dækning er valgfri.
Anmod om en prøve til vedhæftnings- og friktionstest.
