Waferhåndtering af keramisk endeeffektor

Kort beskrivelse:

Undgå partikler, der kan dannes fra de skrå kanter eller de vinklede kanter og bagsiden, mens wafere transporteres eller er i kontakt med endeeffektoren/håndteringsarmen.

Til styrene er der anvendt et blødt materiale, der ikke beskadiger waferen.

Fortynding er mulig med ST.CERAs indbyggede vakuumkanalteknologi, der ikke bruger klæbemidler.

Muligt at lave monteringshuller og ændre længden og bredden af ​​basen, hvor endeeffektoren/håndteringsarmen er monteret på robotten.

Montering af sensorer, skruer og beslag er tilgængelig som ekstraudstyr.

Beregnet til brug i atmosfæren.