Alumina vakuumpatron til præcisionsskæring og slibning
St.Ceras vakuumpatron til aluminiumoxid er fremstillet af 99,8% højrent Al₂O₃ med præcisionsbearbejdede vakuumriller. Vores præcisionsslibekapacitet opnår en planhed på 0,003 mm og en parallelitet på 0,002 mm, hvilket sikrer vridningsfri waferfiksering under udskæring, bagsideslibning og inspektion. Materialet tilbyder høj bøjningsstyrke (361 MPa), hårdhed (16 GPa) og termisk stabilitet op til 800°C. Fås i runde formater op til 600 mm ydre diameter (OD) og rektangulære former op til 1500 mm længde. Vakuumriller er specialdesignet (koncentriske, radiale eller gittermønstre) for at imødekomme specifikke proceskrav. Hver patron inspiceres med laserinterferometer og leveres med en planhedsverifikationsrapport.
Specifikationer (baseret på 99,8% Al₂O₃& St.Ceras produktionskapaciteter):
| Ejendom | Værdi |
| Materiale | 99,8% aluminiumoxid (elfenben) |
| Tæthed | 3,93 g/cm³ |
| Bøjningsstyrke | 361 MPa |
| Vickers-hårdhed | 16 GPa |
| Ydre diameter (maks.) | 600 mm |
| Tykkelse (maks.) | 100 mm |
| Længde (maks.) | 1500 mm |
| Fladhed | 0,003 mm |
| Parallelisme | 0,002 mm |
| Overfladefinish | Ra0,1 |
| Maks. driftstemperatur | 800°C |
Anvendelser:
- · Udskæring og ridsning af vafler (200 mm/300 mm og større)
- · Bagsideslibning af tynde wafere
- · Optisk inspektion og sondering
- · Håndtering af store mængder substrater
Produktionspræcision:
- · Rethed: 0,005 mm
- · Vinkelrethed: 0,005 mm
- · Rundhed: 0,002 mm
- · Koncentricitet: 0,01 mm
