De keramiske reservedele er dannet ved koldisostatisk presning og sintret under høj temperatur, derefter præcisionsbearbejdet og poleret. De kan opfylde alle strenge krav til halvlederudstyr med deres egenskaber som slidstyrke, korrosionsbestandighed, lav termisk udvidelse og isolering. Keramik kan fungere i mange typer halvlederproduktionsudstyr under forhold med høj temperatur, vakuum eller korrosiv gas i lang tid.
Fremstillet af aluminiumoxidpulver med høj renhed, forarbejdet ved koldisostatisk presning, højtemperatursintring og præcisionsfinish, kan den nå en dimensionstolerance på ±0,001 mm, overfladefinish Ra 0,1, temperaturbestandighed 1600 ℃.