ST.CERA Tilpasset Alumina Keramisk Vakuum End Effektor
Kort beskrivelse:
Dette er en keramisk endeeffektor/håndteringsarm af bakketypen, der anvendes under vakuum.
Den keramiske endeeffektor/håndteringsarm er "mere varmebestandig", "mindre afbøjelig" og "lettere" i vægt sammenlignet med metalarmene.
Med egenskaber som høj temperaturbestandighed, korrosionsbestandighed, slidstyrke og isolering kan keramik fungere i mange slags halvlederproduktionsudstyr under forhold med høj temperatur, vakuum eller ætsende gas i lang tid.
Fremstillet af aluminiumoxidpulver med høj renhed, forarbejdet ved koldisostatisk presning, højtemperatursintring og præcisionsfinish, kan den nå en dimensionstolerance på ±0,001 mm, overfladefinish Ra 0,1, temperaturbestandighed 1600 ℃.