Storformat aluminiumoxid keramisk plade til halvleder- og industrielle armaturer
St.Cera fremstiller keramiske plader i storformat af 99,8% aluminiumoxid med høj renhed (Al₂O₃) med maksimale dimensioner på op til 1500 mm i længden og 600 mm i bredden. Vores præcisionsslibningskapaciteter opnår en planhed på 0,003 mm over 100 mm og en parallelitet på 0,002 mm, hvilket sikrer ensartet overfladekvalitet til store applikationer. Tykkelse op til 100 mm, overfladefinish ned til Ra0.1. Disse plader fungerer som vakuumpatronbaser, varmeplader, elektriske isoleringspaneler og proceskammergulve i halvleder-, display- og solcelleproduktion. Gennemgående huller, forsænkninger og kantprofilering er tilgængelige.
Specifikationer (baseret på 99,8% Al₂O₃& St.Ceras produktionskapaciteter):
| Ejendom | Værdi |
| Materiale | 99,8% aluminiumoxid (elfenben) |
| Tæthed | 3,93 g/cm³ |
| Bøjningsstyrke | 361 MPa |
| Vickers hårdhed | 16 GPa |
| Dielektrisk styrke | 15×10⁶ V/m |
| Maksimal længde | 1500 mm |
| Maksimal bredde | 600 mm |
| Maksimal tykkelse | 100 mm |
| Fladhed (pr. 100 mm) | 0,003 mm |
| Parallelisme | 0,002 mm |
| Overfladefinish | Ra0.1 (slebet/poleret) |
| Maks. driftstemperatur | 1600°C |
Anvendelser:
- · Vakuumspændeplader til store wafere og paneler
- · Varmeplader til termisk procesudstyr
- · Elektriske isoleringspaneler i højspændingssystemer
- · Proceskammergulve og foringsplader
Produktionspræcision:
Rethed: 0,005 mm, vinkelrethed: 0,005 mm, verificeret med laserinterferometer.
Fordele i forhold til metalplader:
- · Ingen metallisk kontaminering – afgørende for halvlederprocesser
- · Ingen udgasning – ideel til vakuummiljøer
- · Overlegen slid- og kemisk resistens
Tilpasning:
Brugerdefinerede hulmønstre, kantprofiler, trindelte overflader og metalliserede monteringsområder er tilgængelige.
