+86 17752847642
info@stcera.com
bella@stcera.com
side_banner

ST.CERA tilpasset 99,5% aluminiumoxid keramisk læsserarm

ST.CERA tilpasset 99,5% aluminiumoxid keramisk læsserarm Udvalgt billede
  • ST.CERA tilpasset 99,5% aluminiumoxid keramisk læsserarm
  • ST.CERA tilpasset 99,5% aluminiumoxid keramisk læsserarm
  • ST.CERA tilpasset 99,5% aluminiumoxid keramisk læsserarm
  • ST.CERA tilpasset 99,5% aluminiumoxid keramisk læsserarm

ST.CERA tilpasset 99,5% aluminiumoxid keramisk læsserarm

Kort beskrivelse:

Keramisk endeeffektor / håndteringsarm er installeret på waferhåndteringsrobot eller "endeeffektorer" og bruges til at bære siliciumwafers ind i eller ud af kassetter eller proceskamre.
Fordelene ved at bruge keramik er reduktion af afbøjning på grund af høj bøjningsstyrke, modstandsdygtighed over for høje temperaturer og eliminering af metalforurening og partikler.


Produktdetaljer

Produkt Tags

Produktdetaljer

Med funktioner af høj temperaturbestandighed, korrosionsbestandighed, slidstyrke og isolering kan keramik arbejde i mange slags halvlederproduktionsudstyr med tilstand af høj temperatur, vakuum eller ætsende gas i lang tid.

Fremstillet af højrent aluminiumoxidpulver, behandlet ved kold isostatisk presning, højtemperatursintring og præcisionsfinishing, kunne den keramiske sluteffektor nå dimensionstolerancen til ±0,001 mm, overfladefinish Ra 0,1, temperaturbestandighed 1600 ℃.

Den keramiske endeeffektor med hulrum kan arbejde i en høj temperatur på 800 ℃ på grund af unik keramisk bindingsteknologi.

Her er karakteristikaene for aluminiumoxidkeramik med forskellig renhed.

produktparametre

logo

ST.CERA CO., LTD.

Materiale Datablad

Ejendomme Enhed Alumina (Al2O3)
99% Al2O3 99,5% Al2O3 99,8% Al2O3 99,9% Al2O3
Farve — hvid elfenben elfenben elfenben
Massefylde g/cm3 3,88 3,90 3,93 3,95
Vandoptagelse % 0 0 0 0
Kornstørrelse μm 2~5 2~5 2~5 2~4
Bøjningsstyrke MPa 350 360 361 350
Brudsejhed MPa·m1/2 3~4 3~4 3~4 3~4
Vickers hårdhed GPa 14 15.5 16 16
Youngs elastikmodul GPa 370 370 380 390
Varmeledningsevne W/m·k 28 32 32 34
Termisk udvidelseskoefficient 10-6/℃ 7.2 7.2 7.2 7.2
Dielektrisk konstant — 9.5 9.6 9.6 9.9
Dielektrisk tabsvinkel — 0,0001 0,0001 0,0001 0,0001
Dielektrisk styrke V/m 15×106 15×106 15×106 15×106
Specifik modstand Ω ·mm2/m ﹥ 1014 ﹥ 1014 ﹥ 1014 ﹥ 1014

Produktions proces

Sprøjtegranulering → keramisk pulver → Formning → Blanksintring → Grovslibning → CNC-bearbejdning → Finslibning → Dimensionsinspektion → Rengøring Pakning

Væsentlige detaljer

Oprindelsessted: Hunan, Kina
Materiale: Alumina Keramik
HS-kode: 85471000
Forsyningsevne: 100 stk om måneden
Leveringstid: 3-4 uger
Pakke: Bølgeplade, skum, karton
Andre: Tilpasningstjeneste tilgængelig

  • Tidligere:
  • Næste:

    • Relaterede produkter