Keramisk robotarm af høj renhedsalumina til waferhåndtering
St.Ceras robotarm af aluminiumoxidkeramik er præcisionskonstrueret af 99,8% Al₂O₃ (alumina) med høj renhed. Den kombinerer enestående bøjningsstyrke (361 MPa), høj hårdhed (16 GPa) og lav densitet (3,93 g/cm³), hvilket resulterer i en let, men stiv arm til overførsel af halvlederwafere. Materialets termiske udvidelseskoefficient (7,2×10⁻⁶/°C) matcher silicium nøje, hvilket minimerer termisk uoverensstemmelse under bearbejdning.
Specifikationer (baseret på 99,8% Al₂O₃):
| Ejendom | Værdi |
| Farve | Elfenben |
| Tæthed | 3,93 g/cm³ |
| Bøjningsstyrke | 361 MPa |
| Vickers-hårdhed | 16 GPa |
| Youngs modul | 380 GPa |
| Termisk ledningsevne | 32 W/m·k |
| Termisk ekspansion | 7,2 × 10⁻⁶/℃ |
| Dielektrisk styrke | 15×10⁶ V/m |
Anvendelser:
- Vakuumwaferoverførselsrobotter (200 mm/300 mm)
- Atmosfæriske håndteringssystemer
- Endeeffektorarme til FAB-automatisering
Fremstillingsproces:
Isostatisk presning → grøn bearbejdning → sintring ved 1600°C → CNC-præcisionsslibning → ultralydsrensning → Renrumsemballage i klasse 100. Hver arm er 100% inspiceret af CMM for planhed (±0,01 mm) og overfladeruhed (Ra ≤0,4 μm).
Kvalitetskontrol:
St.Cera er ISO 9001:2015-certificeret. Vi udfører penetreringstest for mikrorevner, trepunktsbøjning for bøjningsstyrke og dielektrisk styrketest i henhold til ASTM D149.
Fordele i forhold til metalarme:
- 50% lettere end rustfrit stål
- Ingen galvanisk korrosion
- Lavere partikelgenerering (≤0,05 partikler/cm²)
- ESD-sikker belægning tilgængelig (10⁶–10⁹ Ω/kvadrat)
Tilpasning:
Længder fra 150 mm til 450 mm, spidsformer (kantgreb, Bernoulli, vakuum) og monteringsflangemønstre i henhold til OEM-tegninger. Prototyper på 2 uger.
For store ordrer, bedes du anmode om et tilbud.
