Keramikkerne af høj renhedsalumina til halvlederarmaturer
St.Ceras alumina keramiske kerne er præcisionsformet af 99,8% Al₂O₃ med høj renhed, hvilket giver enestående dielektrisk styrke (15×10⁶ V/m), termisk stabilitet op til 1600°C og krybemodstand under belastning. Disse kerner bruges som strukturelle komponenter i højtemperaturprocesarmaturer, varmelegemebaser, plasmakammerforinger og elektriske isolatorer. Materialets høje hårdhed (16 GPa) og lave vandabsorption (0%) sikrer langvarig pålidelighed i barske miljøer.
Specifikationer(baseret på 99,8% aluminium₂O₃):
| Ejendom | Værdi |
| Materiale | 99,8% aluminiumoxid (elfenben) |
| Tæthed | 3,93 g/cm³ |
| Bøjningsstyrke | 361 MPa |
| Brudstyrke | 3–4 MPa·m¹/² |
| Vickers-hårdhed | 16 GPa |
| Youngs modul | 380 GPa |
| Termisk ledningsevne | 32 W/m·k |
| Termisk ekspansion (25-1000°C) | 7,2 × 10⁻⁶/℃ |
| Dielektrisk styrke | 15×10⁶ V/m |
| Specifik modstand | >10¹⁴ Ω·mm²/m |
| Maks. driftstemperatur | 1600°C |
Anvendelser:
- · Varmekerne til epitaksiale reaktorer
- · Plasmakammerforing og dækplader
- · Elektriske højspændingsisolatorer
- · Fikseringsbase til waferhåndteringsrobotter
Fremstilling:
Isostatisk presning → grøn bearbejdning → sintring ved 1600°C → CNC-slibning til endelige dimensioner (±0,01 mm tolerance). Hver kerne inspiceres med CMM og ultralydsfejldetektion.
Kvalitetssikring:
ISO 9001:2015-certificeret. Farvepenetreringstest for overfladerevner; dielektrisk styrketest i henhold til ASTM D149.
Afordele i forhold til andre keramiktyper:
- · Højere dielektrisk styrke end zirkoniumoxid (15 vs <10×10⁶ V/m)
- · Lavere omkostninger end SiC til ikke-plasmaapplikationer
- · Fremragende kemisk resistens over for halogener (undtagen HF)
Brugerdefinerede former:
Cylindre, firkantede stænger, plader eller komplekse geometrier. Minimumsstørrelse på 0,5 mm.
Kontakt os for skræddersyede kernedesigns og support til termisk simulering.
