Producenter og leverandører af specialfremstillede keramiske ringe af høj renhedsalumina til CVD/PVD-proceskamre

Højrenhedskeramisk ring af aluminiumoxid til CVD/PVD-proceskamre Fremhævet billede

Keramikring af høj renhedsalumina til CVD/PVD-proceskamre

Kort beskrivelse:

St.Ceras keramiske ring er specielt designet til brug i CVD (Chemical Vapor Deposition) og PVD (Physical Vapor Deposition) proceskamre. Denne ring er fremstillet af 99,8% aluminiumoxid med høj renhed (Al₂O₃) og fungerer som en kammerforing, fokusring eller processætkomponent til at indeslutte plasma og beskytte kammervægge mod erosion. Materialet tilbyder fremragende plasmamodstand, høj dielektrisk styrke (15×10⁶ V/m) og termisk stabilitet op til 1600°C, hvilket sikrer lang levetid i aggressive fluorbaserede plasmamiljøer. Præcise dimensionstolerancer (±0,05 mm på ID/OD) og fladhed (≤10 μm) muliggør ensartet positionering af waferkanten, hvilket forbedrer aflejringsensartetheden og reducerer partikelgenerering.

Send e-mail til os

Produktdetaljer

Produktmærker

Specifikationer (baseret på 99,8% Al₂O₃):

Ejendom	Værdi
Materiale	99,8% aluminiumoxid (elfenben)
Tæthed	3,93 g/cm³
Vandabsorption	0%
Bøjningsstyrke	361 MPa
Brudstyrke	3–4 MPa·m¹/²
Vickers-hårdhed	16 GPa
Youngs modul	380 GPa
Termisk ledningsevne	32 W/m·k
Termisk ekspansion (25–1000 °C)	7,2 × 10⁻⁶/℃
Dielektrisk styrke	15×10⁶ V/m
Specifik modstand	>10¹⁴ Ω·cm
Maks. driftstemperatur	1600°C

Anvendelser:

· CVD-kammerfokusringe og kantringe
· PVD-kammerbeskyttelsesringe og klemringe
· Æts kammerforinger og dækselringe
· Plasmaindeslutningsringe i dielektriske ætsesystemer

Fremstillingsproces:

Isostatisk presning → grøn bearbejdning → sintring ved 1600°C → CNC ID/OD-slibning → overfladelapning → ultralydsrensning → 100% CMM-inspektion. Ultraglat overfladefinish (Ra ≤0,4 μm) minimerer partikeladhæsion.

Kvalitetskontrol:

· 100% dimensionskontrol (ID, YD, tykkelse, fladhed)
· Inspektion af farvestofpenetrant for mikrorevner i overfladen
· Dielektrisk styrketest i henhold til ASTM D149
· Ingen synlig misfarvning eller porøsitet under 20× mikroskop

Fordele i forhold til metal- eller kvartsringe:

· 5-10 gange længere levetid end aluminiumringe i fluorplasma
· Ingen metalforurening i tynde film
· Højere plasmamodstand end kvarts (ingen erosionshuller)
· Opretholder elektrisk isolering >10¹⁴ Ω·cm selv efter langvarig brug

Alternativt materiale — siliciumnitrid (Si₃N₄):

Til anvendelser, der kræver endnu højere brudstyrke (6,2 MPa·m¹/²) og bedre termisk stødmodstand (ekspansionskoefficient 3,2×10⁻⁶/℃), er Si₃N₄-ringe tilgængelige. Alumina er dog mere omkostningseffektivt til de fleste CVD/PVD-anvendelser. Angiv venligst materialepræference ved bestilling.

Tilpasning: