Alumina Keramisk Endeffektor med integrerede vakuumkanaler
St.Ceras vakuum-endeeffektor af aluminiumoxid integrerer præcisionsbearbejdede vakuumkanaler og sugehuller direkte i det 99,8% renhedsaluminiumoxidhus. Dette design eliminerer eksterne vakuumpuder, hvilket muliggør direkte waferopsamling med ensartet holdekraft. Materialets høje bøjningsstyrke (361 MPa) og hårdhed (16 GPa) sikrer langvarig dimensionsstabilitet under gentagne vakuumcyklusser. Fladheden på tværs af pudeområdet opretholdes inden for 10 μm, hvilket forhindrer waferspænding og brud. Vakuumporte er placeret på den bageste monteringsflange for nem integration med OEM-robotarme.
Specifikationer(baseret på 99,8% Al₂O₃):
| Ejendom | Værdi |
| Materiale | 99,8% aluminiumoxid (elfenben) |
| Tæthed | 3,93 g/cm³ |
| Bøjningsstyrke | 361 MPa |
| Vickers hårdhed | 16 GPa |
| Youngs modul | 380 GPa |
| Termisk ekspansion | 7,2 × 10⁻⁶/℃ |
| Pudeplanhed | ≤10 μm |
| Vakuumkanalbredde | 0,5–2,0 mm |
| Maks. driftstemperatur | 800°C |
Anvendelser:
● Vakuumopsamling af tynde eller skæve wafere
● Direkte waferhåndtering uden kantgreb
● Overførsel af solceller og LED-substrat
Fremstilling:
Sintret aluminiumoxidemne → 5-akset CNC-boring af vakuumkanaler og huller → overfladeslipning → ultralydsrensning → heliumlækagetest. Hver effektor er 100% flowtestet for vakuumensartethed.
Fordele:
● Ingen eksterne vakuumpuder (reducerer partikelkilder)
● Ensartet holdetryk forhindrer mærkning af waferen
● Kemisk inert og kompatibel med renrum
