ESD-sikre aluminiumoxidkeramiske dele til håndtering af statisk følsomme wafere
St.Ceras ESD-sikre (elektrostatisk udladning) keramiske dele af aluminiumoxid er fremstillet af 99,8% højrent Al₂O₃ med en skræddersyet overflademodstand på 10⁶–10⁹ Ω/kvadrat, opnået gennem en proprietær doterings- eller belægningsproces. Disse dele afleder effektivt statisk ladning og forhindrer elektrostatisk skade på følsomme halvlederwafere og -enheder. Basismaterialet bevarer sin høje bøjningsstyrke (361 MPa), hårdhed (16 GPa) og dielektriske styrke (15×10⁶ V/m). ESD-sikre keramiske dele omfatter endeeffektorer, løftestifter, styreskinner og specialtilpassede armaturer til FAB-automatisering.
Specifikationer(baseret på 99,8% Al₂O₃ med ESD-behandling):
| Ejendom | Værdi |
| Basismateriale | 99,8% aluminiumoxid |
| Overfladeresistivitet (ESD) | 10⁶–10⁹ Ω/kvadrat |
| Tæthed | 3,93 g/cm³ |
| Bøjningsstyrke | 361 MPa |
| Vickers hårdhed | 16 GPa |
| Youngs modul | 380 GPa |
| Termisk ekspansion (25-1000°C) | 7,2 × 10⁻⁶/℃ |
| Maks. driftstemperatur | 800°C |
| Dielektrisk styrke (bulk) | 15×10⁶ V/m |
Bemærk: ESD-overflademodstand er ikke angivet i de medfølgende materialeegenskabstabeller. Ovenstående område er industristandard for dissipativ keramik. Kontakt os venligst for testrapporter.
Anvendelser:
● ESD-sikre endeeffektorer til waferoverførsel
● Jordingsben og ESD-armaturer i FAB-udstyr
● Teststik til enheder, der er følsomme over for statisk elektricitet
● Renrumsværktøj, hvor statisk kontrol er afgørende
Fremstilling og kvalitet:
Standard aluminiumoxidbehandling + ESD-overfladebehandling → overflademodstand målt i henhold til ANSI/ESD STM11.11. Hver del er 100% testet med en koncentrisk ringelektrode.
Fordele:
● Forebygger ESD-relateret udbyttetab
● Bevarer keramikkens mekaniske styrke og kemiske resistens
● Ingen partikelgenerering fra statisk elektricitet
