Keramisk tætningsring af høj renhedsalumina til tætning af kammer ved høj temperatur

St.Ceras keramiske tætningsring er designet som et alternativ til polymer-O-ringe i ekstreme miljøer, hvor elastomerer nedbrydes. Denne stive tætningsring er fremstillet af 99,8% aluminiumoxid med høj renhed (Al₂O₃) og bruges i statiske tætningsapplikationer - typisk parret med en blød metal- eller grafitpakning - for at give pålidelig vakuum- eller gasindeslutning ved temperaturer op til 800°C og i aggressive plasma- eller kemiske miljøer. Materialet tilbyder nul udgasning, høj trykstyrke (underliggende bøjningsstyrke 361 MPa) og kemisk inertitet (resistent over for halogener, syrer og alkalier undtagen HF). Præcisionsslebne tætningsflader (planhed ≤5 μm, overfladeruhed Ra ≤0,2 μm) sikrer lækagetæt kontakt med tilstødende metal- eller keramiske komponenter.

Specifikationer(baseret på 99,8% aluminium₂O₃):

Anvendelser:

• · Statiske tætninger til halvlederproceskammer (CVD, PVD, ætsning)
• · Tætninger til ovndøren ved høje temperaturer
• · Vakuumgennemføringsflanger
• · Lukning af kemiske reaktorbeholdere

Fremstillingsproces:

Isostatisk presning → sintring ved 1600°C → præcisionsoverlapning på begge sider for at opnå ultraflade, glatte tætningsflader → kantaffasning → ultralydsrensning. Hver ring er 100% lækagetestet på en heliumlækagedetektor med en standard metalpakning.

Kvalitetskontrol:

• · CMM-dimensionskontrol (ID, YD, tykkelse, parallelisme)
• · Overfladeprofilometer til måling af Ra og bølger
• · Måling af planhed ved hjælp af optisk planhed
• · Heliumlækagetest (modtryksmetode)

Fordele i forhold til polymer O-ringe:

• · Tåler 800°C vs. <300°C for FFKM
• · Ingen udgasning — ingen kontaminering af vakuummiljøet
• · Modstandsdygtig over for alle plasmakemikalier (fluor, klor, ilt)
• · Ingen kompression eller permanent deformation
• · Ubegrænset levetid i rene miljøer

Begrænsninger (kritiske bemærkninger):

• · Ikke en O-ring— det er en stiv keramisk ring, der kræver en blød pakning (kobber, aluminium eller grafit) for at forsegle.
• · Kan ikke håndtere dynamisk bevægelse eller store flangeforskydninger.
• · Højere startomkostninger end polymer-O-ringe, men længere levetid reducerer ejeromkostningerne.
• · Sprød — håndter forsigtigt; undgå punktpåvirkning eller bøjningsbelastning.

Note:Ovenstående data følger nøje den medfølgende Al₂O₃-egenskabstabel. Der blev ikke angivet data for elastomere materialer. Dette produkt er en statisk tætningsring, ikke en elastomer O-ring. Bekræft venligst, om dette opfylder dine applikationskrav.