Siliciumcarbid (SiC) keramisk endeeffektor – høj stivhed til håndtering af højtemperaturwafere
St.Ceras SiC keramiske endeeffektor er fremstillet af højrent siliciumcarbid (SiC-indhold 99,72 %, frit Si 0,05 %) ved hjælp af S1111-batchmaterialet. Den tilbyder exceptionelle mekaniske egenskaber: bøjningsstyrke 449 MPa (målt), elasticitetsmodul 457 GPa (målt) og Vickers-hårdhed 25-28 GPa (typisk). Den lave densitet (3,10-3,15 g/cm³, typisk) giver en høj specifik stivhed, ideel til højhastigheds-waferoverførselsrobotter. Med en varmeledningsevne på 120-150 W/m·K (typisk) og en termisk udvidelseskoefficient på 4,0-4,5 × 10⁻⁶/℃ (typisk) afleder denne endeeffektor effektivt varme og opretholder dimensionsstabilitet under håndtering ved høje temperaturer (op til 1600-1700 °C, uden belastning). Den sort/grå farve og nul vandabsorption sikrer kompatibilitet med renrum.
Specifikationer(baseret på leveret SiC S1111 testrapport og typiske værdier)):
| Ejendom | Værdi |
| Materiale | SiC (99,72% SiC, 0,05% frit Si) |
| Farve | Sort/Grå |
| Tæthed | 3,10–3,15 g/cm³ |
| Vandabsorption | 0% |
| Bøjningsstyrke | 449 MPa (gennemsnit) |
| Brudstyrke | 3,12 MPa·m¹/² (gennemsnit) |
| Elasticitetsmodul | 457 GPa |
| Vickers hårdhed | 25–28 GPa |
| Varmeledningsevne (25°C) | 120–150 W/m·K |
| CTE (25–1000 °C) | 4,0–4,5 × 10⁻⁶/℃ |
| Maks. brugstemperatur (ingen belastning) | 1600–1700°C |
Anvendelser:
● Håndtering af højtemperaturwafere (post-anneal, RTP, epitaksi)
● Plasmaætsningskamre, der kræver høj erosionsbestandighed
● Højhastighedsoverførselsrobotter (letvægt, høj stivhed)
Fremstilling:
Sintring af SiC-pulver → præcisions-CNC-slibning af armprofil og monteringsfunktioner → overfladeslibning → ultralydsrensning. 100 % dimensionsinspektion og heliumlækagetest til vakuumapplikationer.
Kvalitetskontrol:
● CMM-inspektion af længde, bredde og fladhed
● Bøjningsstyrketest pr. batch (ifølge testrapportstandard)
● Visuel inspektion under mikroskop for overfladefejl
Fordele i forhold til aluminiumoxid eller metal:
● 2 gange højere elasticitetsmodul (457 vs. ~380 GPa for aluminiumoxid) – mindre nedbøjning
● 3 gange højere varmeledningsevne – hurtigere varmeafledning
● Modstår >1600°C vs. aluminiumoxids 800°C i luft
● Lavere densitet end stål – 40% vægtreduktion
Tilpasning:
Længder 150-450 mm, spidsformer (kantgreb, Bernoulli, flad), monteringsflangemønstre i henhold til OEM-tegning.
*Alle ovenstående mekaniske data stammer fra den medfølgende testrapport (batch S1111). Termiske værdier og hårdhedsværdier er typiske for denne SiC-kvalitet; kontakt os venligst for batchspecifik certificering.*
