-
ST.CERA Tilpasset halvlederudstyr Keramiske spændepatroner
Den kritiske proces i halvlederfeltet skal udføres i renrum, især for de enheder, der skal anvendes under forhold med høj temperatur, vakuum og korrosiv gas. Keramik kan opretholde høj stabilitet i komplicerede fysiske og kemiske miljøer.
-
ST.CERA Tilpasset halvlederudstyr Keramisk plade
De kritiske processer i halvlederfeltet skal udføres i renrum, især for de enheder, der skal anvendes under forhold med høj temperatur, vakuum og korrosiv gas. Keramik kan opretholde høj stabilitet i komplicerede fysiske og kemiske miljøer.
-
ST.CERA Tilpasset halvleder Keramisk fokusring
Den kritiske proces i halvlederfeltet skal udføres i renrum, især for de enheder, der skal anvendes under forhold med høj temperatur, vakuum og korrosiv gas. Keramik kan opretholde høj stabilitet i komplicerede fysiske og kemiske miljøer.
-
ST.CERA tilpasset 99,5% aluminiumoxid keramisk læsserarm
En keramisk endeeffektor/håndteringsarm er installeret på en waferhåndteringsrobot eller "endeeffektorer" og bruges til at føre siliciumwafers ind i eller ud af kassetter eller proceskamre.
Fordelene ved at bruge keramik er reduktion af nedbøjning på grund af høj bøjningsstyrke, modstandsdygtighed over for høje temperaturer og eliminering af metalforurening og partikler. -
ST.CERA Tilpasset Alumina Keramisk End Effektor
ST.CERA tilbyder ESD-belægning og ESD-keramisk materiale. End Effector er fremstillet af aluminiumoxidpulver med høj renhed, forarbejdet ved koldisostatisk presning, højtemperatursintring og præcisionsfinish. Den kan nå en dimensionstolerance på ±0,001 mm, overfladefinish Ra 0,1 og temperaturbestandighed på 1600 ℃.
-
ST.CERA Tilpasset Halvleder Keramisk Fokusring
De keramiske reservedele er fremstillet af aluminiumoxidkeramik med høj renhed (over 99,5%), dannet ved koldisostatisk presning og sintret under høj temperatur, derefter præcisionsbearbejdet og poleret. De kan opfylde alle strenge krav til halvlederudstyr med deres egenskaber som slidstyrke, korrosionsbestandighed, lav termisk udvidelse og isolering.
Med egenskaber som høj temperaturbestandighed, korrosionsbestandighed, slidstyrke og isolering kan keramik fungere i mange slags halvlederproduktionsudstyr under forhold med høj temperatur, vakuum eller ætsende gas i lang tid.
Fremstillet af aluminiumoxidpulver med høj renhed, forarbejdet ved koldisostatisk presning, højtemperatursintring og præcisionsfinish, kan den nå en dimensionstolerance på ±0,001 mm, overfladefinish Ra 0,1, temperaturbestandighed 1600 ℃.
-
ST.CERA Tilpasset Halvleder Præcisions Alumina Keramikbøsning
De keramiske reservedele er fremstillet af aluminiumoxidkeramik med høj renhed (over 99,5%), dannet ved koldisostatisk presning og sintret under høj temperatur, derefter præcisionsbearbejdet og poleret. De kan opfylde alle strenge krav til halvlederudstyr med deres egenskaber som slidstyrke, korrosionsbestandighed, lav termisk udvidelse og isolering.
Med egenskaber som høj temperaturbestandighed, korrosionsbestandighed, slidstyrke og isolering kan keramik fungere i mange slags halvlederproduktionsudstyr under forhold med høj temperatur, vakuum eller ætsende gas i lang tid.
Fremstillet af aluminiumoxidpulver med høj renhed, forarbejdet ved koldisostatisk presning, højtemperatursintring og præcisionsfinish, kan den nå en dimensionstolerance på ±0,001 mm, overfladefinish Ra 0,1, temperaturbestandighed 1600 ℃.
-
ST.CERA Tilpasset Alumina Keramisk Vakuum End Effektor
Dette er en keramisk endeeffektor/håndteringsarm af bakketypen, der anvendes under vakuum.
Den keramiske endeeffektor/håndteringsarm er "mere varmebestandig", "mindre afbøjelig" og "lettere" i vægt sammenlignet med metalarmene.
Med egenskaber som høj temperaturbestandighed, korrosionsbestandighed, slidstyrke og isolering kan keramik fungere i mange slags halvlederproduktionsudstyr under forhold med høj temperatur, vakuum eller ætsende gas i lang tid.
Fremstillet af aluminiumoxidpulver med høj renhed, forarbejdet ved koldisostatisk presning, højtemperatursintring og præcisionsfinish, kan den nå en dimensionstolerance på ±0,001 mm, overfladefinish Ra 0,1, temperaturbestandighed 1600 ℃.
-
ST.CERA Tilpassede 99,5% Alumina Keramiske Rør og Keramiske Stænger
Med egenskaber som høj temperaturbestandighed, korrosionsbestandighed, slidstyrke og isolering kan keramik fungere i mange slags halvlederproduktionsudstyr under forhold med høj temperatur, vakuum eller ætsende gas i lang tid.
Fremstillet af aluminiumoxidpulver med høj renhed, forarbejdet ved koldisostatisk presning, højtemperatursintring og præcisionsfinish, kan den nå en dimensionstolerance på ±0,001 mm, overfladefinish Ra 0,1, temperaturbestandighed 1600 ℃.
-
ST.CERA tilpasset håndtering af aluminiumoxidkeramiske endeeffektorwafere
ST.CERA tilbyder ESD-belægning og ESD-keramisk materiale, endeeffektor/håndteringsarm med en indbygget hul kanal. Vi specialiserer os i en teknik, der danner en vakuumluftkanal inde i et enkelt stykke materiale uden brug af klæbemiddel.
Der er ingen risiko for forurenende stoffer, udgasning eller partikler. ST.CERAs vakuum-endeeffektor/håndteringsarm med speciel belægningsteknologi er elektrisk isoleret. Vi kan også tilbyde ESD-keramisk materiale, der er elektrisk isoleret uden belægning.
Fremstillet af aluminiumoxidpulver med høj renhed, forarbejdet ved koldisostatisk presning, højtemperatursintring og præcisionsfinish, kan den nå en dimensionstolerance på ±0,001 mm, overfladefinish Ra 0,1, temperaturbestandighed 1600 ℃. -
Komponenter til halvlederudstyr til keramiske endeeffektorer i aluminiumoxid
Undgå partikler, der kan dannes fra de skrå kanter eller de vinklede kanter og bagsiden, mens wafere transporteres eller er i kontakt med endeeffektoren/håndteringsarmen.
Til styrene er der anvendt et blødt materiale, der ikke beskadiger waferen.
Fortynding er mulig med ST.CERAs indbyggede vakuumkanalteknologi, der ikke bruger klæbemidler.
Muligt at lave monteringshuller og ændre længden og bredden af basen, hvor endeeffektoren/håndteringsarmen er monteret på robotten.
Montering af sensorer, skruer og beslag er tilgængelig som ekstraudstyr.
Beregnet til brug i atmosfæren.
-
Tilpasset CNC-bearbejdning af St.Cera keramisk endeeffektor
ST.CERA tilbyder en vakuumkeramisk endeeffektor/håndteringsarm med en indbygget hul kanal. Vi specialiserer os i en teknik, der danner en vakuumluftkanal inde i et enkelt stykke materiale uden brug af klæbemiddel.
Der er ingen risiko for forurenende stoffer, udgasning eller partikler. ST.CERAs vakuum-endeeffektorer/håndteringsarm med indbygget kanal er holdbare og kan bruges ved høje temperaturer. Desuden kan vores produktionsomkostninger reduceres ved at eliminere unødvendig montering.
Fremstillet af aluminiumoxidpulver med høj renhed, forarbejdet ved koldisostatisk presning, højtemperatursintring og præcisionsfinish, kan den nå en dimensionstolerance på ±0,001 mm, overfladefinish Ra 0,1, temperaturbestandighed 1600 ℃.
