-
Keramiske dele af højpræcisionskeramisk ring af aluminiumoxid
De keramiske reservedele er dannet ved koldisostatisk presning og sintret under høj temperatur, derefter præcisionsbearbejdet og poleret. De kan opfylde alle strenge krav til halvlederudstyr med deres egenskaber som slidstyrke, korrosionsbestandighed, lav termisk udvidelse og isolering. Keramik kan fungere i mange typer halvlederproduktionsudstyr under forhold med høj temperatur, vakuum eller korrosiv gas i lang tid.
Fremstillet af aluminiumoxidpulver med høj renhed, forarbejdet ved koldisostatisk presning, højtemperatursintring og præcisionsfinish, kan den nå en dimensionstolerance på ±0,001 mm, overfladefinish Ra 0,1, temperaturbestandighed 1600 ℃.
-
ST.CERA Tilpassede Keramiske Spændepatroner til Halvlederudstyr
De keramiske reservedele er dannet ved koldisostatisk presning og sintret under høj temperatur, derefter præcisionsbearbejdet og poleret. De kan opfylde alle strenge krav til halvlederudstyr med deres egenskaber som slidstyrke, korrosionsbestandighed, lav termisk udvidelse og isolering. Keramik kan fungere i mange typer halvlederproduktionsudstyr under forhold med høj temperatur, vakuum eller korrosiv gas i lang tid.
Fremstillet af aluminiumoxidpulver med høj renhed, forarbejdet ved koldisostatisk presning, højtemperatursintring og præcisionsfinish, kan den nå en dimensionstolerance på ±0,001 mm, overfladefinish Ra 0,1, temperaturbestandighed 1600 ℃.
-
Siliciumcarbid (SiC) keramisk endeeffektor – høj stivhed til håndtering af højtemperaturwafere
St.Ceras SiC keramiske endeeffektor er fremstillet af højrent siliciumcarbid (SiC-indhold 99,72 %, frit Si 0,05 %) ved hjælp af S1111-batchmaterialet. Den tilbyder exceptionelle mekaniske egenskaber: bøjningsstyrke 449 MPa (målt), elasticitetsmodul 457 GPa (målt) og Vickers-hårdhed 25-28 GPa (typisk). Den lave densitet (3,10-3,15 g/cm³, typisk) giver en høj specifik stivhed, ideel til højhastigheds-waferoverførselsrobotter. Med en varmeledningsevne på 120-150 W/m·K (typisk) og en termisk udvidelseskoefficient på 4,0-4,5 × 10⁻⁶/℃ (typisk) afleder denne endeeffektor effektivt varme og opretholder dimensionsstabilitet under håndtering ved høje temperaturer (op til 1600-1700 °C, uden belastning). Den sort/grå farve og nul vandabsorption sikrer kompatibilitet med renrum.
-
Siliciumkarbid (SiC)-baseret vakuumpatron til højtemperatur- og plasmamiljøer
St.Ceras SiC-baserede keramiske patron er fremstillet af siliciumcarbid med høj renhed (batch S1111, SiC 99,72%, frit Si 0,05%). Den leverer en målt bøjningsstyrke på 449 MPa, en brudstyrke på 3,12 MPa·m¹/² og et elasticitetsmodul på 457 GPa. Materialets typiske varmeledningsevne (120-150 W/m·K) og lave varmeudvidelse (4,0-4,5×10⁻⁶/℃) muliggør hurtig temperaturstigning og minimal wafer-vridning under termisk cykling. Patronen kan konfigureres som en porøs vakuumpatron (ensartet gasstrøm) eller en rillet standardpatron. Med en maksimal brugstemperatur på 1600-1700°C (uden belastning) og enestående plasmaerosionsbestandighed er denne patron ideel til højtemperatur-waferbehandling (glødning, RTP) og aggressive ætsekamre, hvor aluminiumoxidpatroner nedbrydes.
-
Keramiske reservedele til halvlederudstyr Keramiske bærere
De keramiske reservedele er dannet ved koldisostatisk presning og sintret under høj temperatur, derefter præcisionsbearbejdet og poleret. De kan opfylde alle strenge krav til halvlederudstyr med deres egenskaber som slidstyrke, korrosionsbestandighed, lav termisk udvidelse og isolering. Keramik kan fungere i mange typer halvlederproduktionsudstyr under forhold med høj temperatur, vakuum eller korrosiv gas i lang tid.
Fremstillet af aluminiumoxidpulver med høj renhed, forarbejdet ved koldisostatisk presning, højtemperatursintring og præcisionsfinish, kan den nå en dimensionstolerance på ±0,001 mm, overfladefinish Ra 0,1, temperaturbestandighed 1600 ℃.
-
Metalbagbelagt aluminiumoxidkeramisk slibering til lapningsapplikationer med høj stivhed
St.Ceras metalbaserede aluminiumoxid-slibering kombinerer et keramisk slidlag af høj renhed af aluminiumoxid (99,8% Al₂O₃) med en præcisionsbearbejdet metalbagside (typisk aluminium eller rustfrit stål). Dette hybriddesign giver den exceptionelle slidstyrke og kemiske inertitet af keramik på slibefladen, mens metalbasen tilføjer mekanisk styrke, nem montering og modstand mod sprødbrud. Aluminiumoxidlaget tilbyder en bøjningsstyrke på 361 MPa, en Vickers-hårdhed på 16 GPa og termisk stabilitet op til 800°C. Metalbasen er tilpasset med monteringshuller, positioneringsstifter eller magnetiske egenskaber til integration i lappemaskiner, planetslibere og CMP-udstyr.
-
Keramiske reservedele til halvlederprobestationsudstyr
De keramiske reservedele er dannet ved koldisostatisk presning og sintret under høj temperatur, derefter præcisionsbearbejdet og poleret. De kan opfylde alle strenge krav til halvlederudstyr med deres egenskaber som slidstyrke, korrosionsbestandighed, lav termisk udvidelse og isolering. Keramik kan fungere i mange typer halvlederproduktionsudstyr under forhold med høj temperatur, vakuum eller korrosiv gas i lang tid.
Fremstillet af aluminiumoxidpulver med høj renhed, forarbejdet ved koldisostatisk presning, højtemperatursintring og præcisionsfinish, kan den nå en dimensionstolerance på ±0,001 mm, overfladefinish Ra 0,1, temperaturbestandighed 1600 ℃.
-
Tilpasset behandling af Al2O3 keramisk waferchuck
De keramiske reservedele er dannet ved koldisostatisk presning og sintret under høj temperatur, derefter præcisionsbearbejdet og poleret. De kan opfylde alle strenge krav til halvlederudstyr med deres egenskaber som slidstyrke, korrosionsbestandighed, lav termisk udvidelse og isolering. Keramik kan fungere i mange typer halvlederproduktionsudstyr under forhold med høj temperatur, vakuum eller korrosiv gas i lang tid.
Fremstillet af aluminiumoxidpulver med høj renhed, forarbejdet ved koldisostatisk presning, højtemperatursintring og præcisionsfinish, kan den nå en dimensionstolerance på ±0,001 mm, overfladefinish Ra 0,1, temperaturbestandighed 1600 ℃.
-
ST.CERA Tilpasset Halvlederudstyr Keramisk Plade
De keramiske reservedele er dannet ved koldisostatisk presning og sintret under høj temperatur, derefter præcisionsbearbejdet og poleret. De kan opfylde alle strenge krav til halvlederudstyr med deres egenskaber som slidstyrke, korrosionsbestandighed, lav termisk udvidelse og isolering. Keramik kan fungere i mange typer halvlederproduktionsudstyr under forhold med høj temperatur, vakuum eller korrosiv gas i lang tid.
Fremstillet af aluminiumoxidpulver med høj renhed, forarbejdet ved koldisostatisk presning, højtemperatursintring og præcisionsfinish, kan den nå en dimensionstolerance på ±0,001 mm, overfladefinish Ra 0,1, temperaturbestandighed 1600 ℃.
-
12-tommer aluminiumoxid vakuumpatron til 300 mm waferbehandling
St.Ceras 12-tommer vakuumpatron er præcisionskonstrueret af 99,8% aluminiumoxid med høj renhed (Al₂O₃) til håndtering af 300 mm wafere. Patronen har en fint rillet overflade (rillebredde 0,5-1,0 mm, stigning 2-3 mm) for at sikre ensartet vakuumfordeling over hele 300 mm diameteren. Fladheden opretholdes inden for 5 μm, hvilket muliggør vridningsfri waferfiksering under skæring, bagsideslibning og inspektion. Materialets høje bøjningsstyrke (361 MPa) og hårdhed (16 GPa) garanterer langvarig dimensionsstabilitet, selv under gentagne vakuumcyklusser.
-
Alumina Keramisk Endeffektor med integrerede vakuumkanaler
St.Ceras vakuum-endeeffektor af aluminiumoxid integrerer præcisionsbearbejdede vakuumkanaler og sugehuller direkte i det 99,8% renhedsaluminiumoxidhus. Dette design eliminerer eksterne vakuumpuder, hvilket muliggør direkte waferopsamling med ensartet holdekraft. Materialets høje bøjningsstyrke (361 MPa) og hårdhed (16 GPa) sikrer langvarig dimensionsstabilitet under gentagne vakuumcyklusser. Fladheden på tværs af pudeområdet opretholdes inden for 10 μm, hvilket forhindrer waferspænding og brud. Vakuumporte er placeret på den bageste monteringsflange for nem integration med OEM-robotarme.
-
ESD-sikre aluminiumoxidkeramiske dele til håndtering af statisk følsomme wafere
St.Ceras ESD-sikre (elektrostatisk udladning) keramiske dele af aluminiumoxid er fremstillet af 99,8% højrent Al₂O₃ med en skræddersyet overflademodstand på 10⁶–10⁹ Ω/kvadrat, opnået gennem en proprietær doterings- eller belægningsproces. Disse dele afleder effektivt statisk ladning og forhindrer elektrostatisk skade på følsomme halvlederwafere og -enheder. Basismaterialet bevarer sin høje bøjningsstyrke (361 MPa), hårdhed (16 GPa) og dielektriske styrke (15×10⁶ V/m). ESD-sikre keramiske dele omfatter endeeffektorer, løftestifter, styreskinner og specialtilpassede armaturer til FAB-automatisering.
